1高純度

適當(dāng)?shù)倪x用生成熱解石墨的原料氣體、基體和熱區(qū)材料的純度。能夠生成高純度的熱解石墨。

2熱膨脹系數(shù)的各項(xiàng)異性十分顯著

硅和熱解石墨膨脹系數(shù)相差特別大。在外延的過程中，可能會(huì)因?yàn)榫W(wǎng)路電壓波動(dòng)和設(shè)備不穩(wěn)定等因素，導(dǎo)致硅片熔化。通常包硅、熔硅和包碳化硅石墨基座會(huì)和熔硅粘在一起或斷裂報(bào)廢。而熱解石墨，只需要用東西敲打，讓其振動(dòng)，熔硅就能脫落。

3熱導(dǎo)性能很獨(dú)特

熱解石墨平行在基面方向上的熱導(dǎo)率在廣泛的范圍內(nèi)比銅好，更優(yōu)于普通高純石墨。反之，垂直于沉積面在高溫下是一種很好的絕熱體。這一特性讓整塊基座因?yàn)楦袘?yīng)線圈的不均或者因?yàn)榛鶅?nèi)部結(jié)構(gòu)的不均造成的溫度不均達(dá)到熱平衡，降低了基座各部位的溫度梯度，這就會(huì)讓同一基座各部位生產(chǎn)的外延片的電阻率和層厚度均勻。

4質(zhì)地細(xì)密、堅(jiān)實(shí)，氣密性良好

熱解石墨質(zhì)地細(xì)密、堅(jiān)實(shí)，融化的硅無法深入基座中，內(nèi)部的雜質(zhì)難以揮發(fā)出來，這樣就解決了因?yàn)榛鶕]發(fā)物讓石英反應(yīng)管發(fā)白、變黃的而造成的外延困難，很大程度延長(zhǎng)了石英反應(yīng)管的壽命，同時(shí)也便于觀察。

5經(jīng)濟(jì)耐用

熱解石墨在高溫條件下?lián)碛泻芨叩臋C(jī)械強(qiáng)度，良好的化學(xué)穩(wěn)定性，抗高溫、高流、氣流沖蝕，所以使用壽命比較長(zhǎng)。