碳化硅化學(xué)性能穩(wěn)定,強(qiáng)度高,耐磨性好,因此用于各種工業(yè)生產(chǎn)。
防彈板。碳化硅陶瓷因其硬度高、比重小、防彈性能好、價(jià)格低廉等優(yōu)點(diǎn),被廣泛用于防彈裝甲,如保護(hù)車船,以及保護(hù)民用保險(xiǎn)箱和運(yùn)鈔車。碳化硅陶瓷的彈道性能優(yōu)于氧化鋁陶瓷,約為碳化硼陶瓷的80%,但其低廉的價(jià)格使其特別適用于大批量的防護(hù)服。它不會(huì)太厚或太重。
噴嘴。用作噴嘴的陶瓷材料有多種類型,常用的有氧化鋁、碳化硅和碳化硼陶瓷。碳化硅陶瓷的壽命是氧化鋁陶瓷的3-5倍,相當(dāng)于硬質(zhì)合金,主要用作硬質(zhì)合金的替代品,尤其是在便攜式噴槍。
研磨盤。研磨盤是半導(dǎo)體工業(yè)中用于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)硅片的重要工藝設(shè)備。由碳化硅陶瓷制成的磨盤由于磨盤的硬度高,硅片的磨損和熱膨脹系數(shù)低,可以進(jìn)行高速研磨和拋光。尤其是近年來,硅片的尺寸越來越大,對(duì)硅片磨削的質(zhì)量和效率提出了更高的要求。碳化硅陶瓷研磨盤的使用大大提高了硅片研磨的質(zhì)量和效率