石墨熱場以及部件在單晶硅的制造中起著關(guān)鍵的載體作用

直拉單晶爐的熱系統(tǒng)，即所謂的熱場，指的是為了熔化硅料，同時讓單晶生長維持在一定溫度下進(jìn)行的整個系統(tǒng)。

熱場通常涵蓋（石墨材料）壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓，且為了預(yù)防漏硅，爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。

21世紀(jì)，愈來愈多的用戶都開始關(guān)注到石墨材料，石墨具備耐高溫、導(dǎo)電、導(dǎo)熱性良好、潤滑性等主要特性，抗熱震性等在新能源引領(lǐng)未來的時代，石墨熱場還有零件在單晶硅的制造中具有關(guān)鍵的載體作用。

在真空爐中熱場是決定單晶硅好壞的決定因素，經(jīng)過對石墨熱場的了解，決定熱場石墨組件的好壞的因素有許多，其中石墨原材料的選擇和加工工藝上特別關(guān)鍵。

因?yàn)閱尉t石墨熱場大部分是選用等靜壓石墨來進(jìn)行加工的，針對石墨制品加工企業(yè)而言石墨材料比起加工工藝所占的比重大一些，那么提升石墨熱場的利用率是石墨制品加工企業(yè)需要考慮的問題，所以在報價給看客戶報價的時候除了要考慮石墨原材料理化指標(biāo)，更多的還要考慮石墨熱場的壽命。

清爐是個技術(shù)活，清爐不到位，對單晶的正常生長就會有很大影響，輕者，不能正常生長單晶，嚴(yán)重的話，就會造成停爐，因此大家在清理單晶爐中應(yīng)該注意到幾點(diǎn)：

    1、最好是要把噴濺到石墨部件上的硅滴去除，劣化嚴(yán)重的石墨件要向主任報告及時更換。

    2、用刷子和吸塵器清理各種石墨件，必須要注意清理管道的重要性。

    3、石墨件要輕拿輕放，預(yù)防石墨件受損。

    4、清理干凈的石墨件，要放在干凈的不銹鋼推車上，預(yù)防二次污染。