熱場(chǎng)就是熱系統(tǒng)。在機(jī)械中通常是指單晶爐熱場(chǎng),即單晶爐中的熱系統(tǒng)。單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為主)環(huán)境中,使用石墨加熱器把多晶硅等多晶材料熔化,使用直拉法生長(zhǎng)無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。石墨熱場(chǎng)其實(shí)用來拉單晶硅的整套石墨加熱系統(tǒng)。最常見的是18寸的石墨熱場(chǎng)。
眾所周知,熱場(chǎng)的構(gòu)成部分例如加熱器、三瓣堝、石墨托、熱屏等都是由石墨加工形成的。在生產(chǎn)的過程當(dāng)中,常常可以碰到加熱器件損壞的情況,那么石墨熱場(chǎng)器件損壞的原因是什么,要怎樣來延長(zhǎng)石墨熱場(chǎng)器件的壽命呢?
石墨器件的損壞,主要是因?yàn)槿藶楹土踊瘍蓚€(gè)因素。人為方面只需要增強(qiáng)管理,強(qiáng)化員工防范意識(shí),就能夠?qū)p失降到最低。而對(duì)于劣化,我們要知道石墨的相關(guān)特性,
1.耐高溫性,石墨的熔點(diǎn)特別高,在真空是3850度,在低壓下升華,升華溫度是2200度,和普通材料不一樣,在溫度升高時(shí)石墨不僅不軟化,強(qiáng)度反而增多,在2500度時(shí),石墨的抗拉強(qiáng)度反之會(huì)增強(qiáng)一倍。
2.特殊的抗熱震性,石墨的熱膨脹性具備各向異性,由于宏觀膨脹系數(shù)較大,在溫度驟變的狀況下,石墨的體積變化也比較小,再加上它的良好的導(dǎo)熱性能,所以石墨的抗熱震性良好。
終上所述,石墨熱場(chǎng)器件(石墨坩堝)可以長(zhǎng)期在高溫下穩(wěn)定工作。