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半導(dǎo)體工業(yè)對石墨材料有什么要求呢?

發(fā)布時間:2021-01-18 分享

半導(dǎo)體工業(yè)針對所采用的石墨材料要求特別嚴(yán)格,它的純度越高就代表越好,尤其是世界和半導(dǎo)體材料所需要接觸到的石墨器件,例如坩堝、燒結(jié)模等,要是雜質(zhì)含量多就會污染半導(dǎo)體材料,因此不只是需要對所用石墨材料的純度嚴(yán)格管控,還要通過高溫石墨化處理,讓灰分降到最低程度,下面隨著海飛凌一起來了解一下:


半導(dǎo)體工業(yè)要求所應(yīng)用的石墨材料顆粒度要十分精細(xì),顆粒度細(xì)的石墨不僅極易做到加工精度,并且高溫強度高,損耗也很小,尤其是針對燒結(jié)的模具要求加工精度特別高。


那么,為什么半導(dǎo)體工業(yè)針對所采用的石墨材料要求比較高呢?主要是由于半導(dǎo)體工業(yè)所使用的石墨器件(涵蓋加熱器和燒結(jié)模)都要承擔(dān)反復(fù)加熱和冷卻過程,另一方面,為了提升石墨器件的使用壽命,要求所采用的石墨材料在高溫下要具備良好的尺寸穩(wěn)定性和比較好的耐熱沖擊性能。為了可以滿足以上各項要求,在生產(chǎn)石墨材料時要嚴(yán)格控制質(zhì)量,做到精益求精。