直拉單晶爐的熱系統(tǒng)指的是為了熔化硅料,同時(shí)維持在一定溫度下做單晶生長(zhǎng)的整個(gè)系統(tǒng),在直拉單晶硅熱場(chǎng)當(dāng)中,石墨部件具有增渦、加熱器、電極、隔熱遮蔽板、籽晶夾持器、旋轉(zhuǎn)增禍用的底座、各種圓板、熱反射板等大概30多種。
在這些高純石墨制品當(dāng)中,加熱器是熱系統(tǒng)當(dāng)中十分重要的零件,是直接的發(fā)熱體,溫度最高到達(dá)1600℃以上;和加熱器相連的石墨電極不但要平穩(wěn)支撐加熱器還要經(jīng)過它對(duì)加熱器進(jìn)行加熱,所以石墨電極要求比較厚重,要求結(jié)實(shí)耐用,它和金屬電極還有和加熱器的接觸面要求要光滑、平穩(wěn),確保接觸良好,在通電時(shí)不能夠打火,這就要求對(duì)石墨電極做特殊化處理;用來盛裝硅料的高純石墨柑禍一定要具備一定的強(qiáng)度,用來承擔(dān)硅料的重量。
隨著石墨材料在直拉單晶中的使用愈來愈廣泛,石墨材料的發(fā)展能夠推動(dòng)直拉單晶工藝獲得改善,有助于進(jìn)一步降低直拉單晶的生產(chǎn)成本和提升直拉單晶的生產(chǎn)效率。